Äskettäin Kiinan tiedeakatemian Shanghai-mikrosysteemin ja tietotekniikan instituutti on kehittänyt korkean suorituskyvyn MEMS-nopean heijastavan peilin integroiduilla kulma-antureilla . Peilillä on suuri koko, pieni paketti, erinomainen suorituskyky ja suuri potentiaali laser satelliittiviestinnässä .}}}}}}}}}}}}
Nopea heijastava peili kesti melkein viisi vuotta . kehittäminen, se ottaa käyttöön kaksikerroksisen heterogeenisen integraation ja kiekkotason sidostekniikan, ja sen tilavuus on vain 1- yuan-kolikon koko .}}}}}}}}}
Se ylittää perinteisten mekaanisten nopeasti heijastavien peilien ja alkuperäisten MEMS: n nopean heijastavien peilien tekniset pullonkaulat.
Matkapuhelimen näytön inspiroimana ryhmä käytti piispietsoresisoivan kannan periaatetta sirun kulma-anturien integroimiseksi, ja rakenteellisen innovaatioiden avulla herkkyys kasvatti 63%, mikä optimoi säteenhallinnan tarkkuuden .}}}
Testitulokset osoittavat, että tietyllä taajuudella kulman tarkkuus täyttää standardin ja suurin dynaaminen pinnan muodonmuutos on vain 2 nanometriä .
Virkamies teki analogian, joka vastaa kaikkia ylä- ja alamäkiä jalkapallokentän koon peilillä, joka ei ylitä hiusten halkaisijaa, täyttäen tiukat pitkän matkan satelliittilaserviestinnän vaatimukset peilin pinnalla .}}}}}}}}}}}}}}}
