Kuten me kaikki tiedämme, maailmassa on vain yksi valmistaja, joka voi tuottaa EUV-litografiaa, se onAlankomaiden ASML.
Syy siihen, miksi maailmassa on vain yksi valmistaja, on se, että ASML on yhdistänyt useita keskeisiä valmistajia, kuten Zeissin (Zeiss), saksalaisen optiikkayhtiön, Cymerin (USA) jaTRUMPF (Saksa).
ASML on sitonut nämä valmistajat vaunuihinsa investoinneilla, hankinnoilla, osakkeilla, tutkimuskeskusten perustamisella ja niin edelleen, ja nämä valmistajat ovat luultavasti ainoita valmistajia maailmassa, jotka voivat tuottaa näitä tuotteita, joten lopulta vain ASML maailmassa voi tuottaa EUV-litografiaa.
Äskettäin ASML:n keskeinen toimitusketju juoksi kuitenkin Shenzheniin Kiinaan rakentamaan tehdasta, ja sen Shenzhenin tytäryhtiö asettui Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Parkiin.
Tämä valmistaja on saksalainen TRUMPF Group (TRUMPF), se on ASML:n EUV-litografia, maailman ainoa laserlähdetoimittaja.
TRUMPF-tuotteet EUV-litografiassa, kuinka tärkeitä? Kuuntele ensin, kun selitän EUV-litografian periaatteen, niin ymmärrät.
Yksinkertaisesti sanottuna EUV-litografian periaate keskittyy kolmeen pääjärjestelmään, EUV:n ultraviolettivalolähdejärjestelmään, objektiivipeilijärjestelmään ja pöytäjärjestelmään.
Erityinen prosessi on käyttää laseria äärimmäisen ultraviolettivalon 13,5 nm aallonpituuden virittämiseen, joka sitten korjataan muodostamaan kontrolloitu valonsäde, joka sitten projisoidaan valonaamiopöydälle ennen kuin se projisoidaan objektiivipeilin läpi valotuspöydälle. ja lopuksi syövytetty piiriksi fotoresistillä päällystetylle piikiekolle.
Kuinka yksi EUV UV-valolähdejärjestelmistä saadaan pommittamalla tina (Sn) metallipisaraa 30 kW:n tehon CO2-laserilla, haihduttamalla se plasmaksi ja lopuksi saamalla EUV-valoa aallonpituudella 13,5 nm.
Tämän 30 kW:n CO2-laserin toimittaa TRUMPF, ainoana maailmassa.
Älä aliarvioi tätä CO2-laseria, siinä on 457 329 osaa, järjestelmän kaapelin pituus on jopa 7 322 metriä ja paino 17 090 kg, mikä on yksi tärkeimmistä EUV-litografian ydinkomponenteista.
Nyt TRUMPF juoksi Kiinaan rakentamaan tehdasta, tarkoitus on selvä, eli optimistinen Kiinan lasermarkkinoiden suhteen, ja vielä pidemmän aikavälin näkemys, optimistinen Kiinan litografiamarkkinoiden suhteen, tulevaisuudessa voi tehdä yhteistyötä Kiinan kanssa rakentaakseen EUV-litografiaa .
Itse asiassa on jo enemmän kuin yksi ASML-toimitusketju käynnissä Kiinaan rakentamaan tehdasta, on KMWE ja muut valmistajat, myös Kiinaan rakentamaan tehdasta.
Mukaan nykyinen suuntaus, voimme optimistisesti odottaa, että se ei voi olla kauan ennen kuin Kiinan litografia tekniikka on iso askel eteenpäin, ja jopa tuotannon määrä EUV litografia, voi myös odottaa, luuletko?
