1|Keskustelu alumiinioksidista ja sen sovelluksista Alumiinioksidikeramiikkaa käytetään laajalti sellaisilla aloilla kuin puolijohteet, uusi energia ja huippuluokan elektroniikka. Erityisesti alumiinioksidikeramiikka sopeutuu hyvin äärimmäisiin ympäristöihin, kuten tyhjiöön ja korkeisiin lämpötiloihin, mikä tekee niistä sopivia puolijohdelaitteiden prosessikomponenttien raaka-aineiksi. Pelkästään erinomaisten materiaalien käyttö ei riitä; nämä materiaalit vaativat myös erinomaisia prosessointitekniikoita huippuluokan laitteissa tai prosesseissa, jotta niiden ominaisuudet voidaan täysin toteuttaa ja saavuttaa suurempia läpimurtoja tarkkuusvalmistuksessa. Esimerkiksi puolijohdelaitteessa käytettävät kaasusuuttimet tarvitsevat vahvan korroosionkestävyyden, joka yleensä saavutetaan alumiinioksidikeraamisilla materiaaleilla. Jotta suutin voisi saavuttaa optimaalisen säätötehon, tarvitaan tarkkaa mikro-reiän käsittelytekniikkaa hyvän mikro-reikärakenteen luomiseksi, mikä mahdollistaa kaasun/nesteen virtauksen nopeuden ja tilavuuden tarkan ohjauksen. Siksi alumiinioksidin ja hyvien käsittelytekniikoiden välinen suhde vahvistaa toisiaan.
2|Keskustelu alumiinioksidin mikrohuokosten käsittelystä Keraaminen käsittely on aina ollut haaste. Ensinnäkin se on kova ja hauras materiaali; perinteisten mekaanisten porausmenetelmien käyttö aiheuttaa helposti mikro-halkeamia ja lohkeilua, mikä tekee tuoton varmistamisesta vaikeaa. Toiseksi se on eristävä materiaali ja ei--johtava, joten korkean-tarkkuuden sähköpurkaustyöstöä ei voida käyttää. Ennen femtosekuntilaserien tuloa alumiinioksidikeraamisten mikrohuokosten korkean-tarkkuuden ja laadukkaan{8}}prosessoinnin saavuttaminen oli vaikea tehtävä. Eli kuinka suurta tarkkuutta ja korkeaa laatua voidaan arvioida? Toisin sanoen, miten arvioimme, ovatko mikrohuokosten käsittelyn indikaattorit hyviä vai huonoja? Uskon, että on olemassa kaksi näkökohtaa: mikrohuokosten koko ja mikrohuokosten morfologia.
1. Mikrohuokosten koko sisältää: reiän halkaisijan ja sen tarkkuuden, pyöreyden, kartiomaisuuden jne. Nämä kolme indikaattoria kuvastavat ensisijaisesti mikrohuokosten kolmiulotteista kokoa, kun taas tarkkuus edustaa poikkeamaa ihanteellisen arvon ja käsittelytekniikalla saavutettavan todellisen arvon välillä.
2. Mikrohuokosten morfologia sisältää: pintamorfologian ja sivuseinän morfologian. Nämä kaksi indikaattoria tarkastelevat pääasiassa, onko reiän sisääntulossa ja sisäseinässä uudelleen-sulakerros, halkeamia, roiskeita, halkeamia tai pinnan sileyttä. Nämä indikaattorit vaikuttavat valonsäteiden, kaasujen ja nesteiden tunkeutumiseen ja vaikuttavat myös tuotteen luotettavuuteen ja käyttöikään.
3|Keskustelu alumiinioksidin femtosekunnin laserprosessoinnista Femtosekuntilaser huippuluokan mikroreikien käsittelyteknologiana tarjoaa merkittäviä etuja alumiinioksidin käsittelyssä. Ultra-lyhyellä pulssileveydellä ja erittäin suurella huipputehollaan se pystyy poistamaan minkä tahansa kiinteän materiaalin kulkeutumatta sulan tilan läpi. Yhdessä sen mikrometri-mittakaavaisen hienokaiverruksen kanssa, mikroreiät ovat erittäin tarkkoja ja pyöreitä. Lisäksi femtosekuntilaserien kylmäkäsittely estää uudelleenvalukerrosten, mikrohalkeamien muodostumisen alumiinioksidin pinnalle tai sisäseinille, eikä aiheuta materiaalin kellastumista tai tummumista. Toisin sanoen, riippumatta käsittelymenetelmästä tai alumiinioksidikeramiikan koostumussuhteesta, femtosekuntilaserit voivat saavuttaa erittäin-korkean tarkkuuden, korkealaatuisen-mikroreikien käsittelyn. Tällä hetkellä femtosekunditeillä lasereilla voidaan saavuttaa mikroreikäkäsittely, jonka halkaisija on vähintään 0,02 mm (paksuus 0,2 mm) ja tarkkuus ±1 μm. Tiedätkö muita tekniikoita, joilla voidaan saavuttaa tällainen mikroreikäkäsittely?









