Laserpuhdistus on tekniikka, jota käytetään epäpuhtauksien poistamiseen puolijohdekiekkoista, jotka tarjoavat tarkan ja ei - kosketusmenetelmän näiden herkkien komponenttien puhtauden ylläpitämiseksi. Se on erityisen arvokasta puolijohteiden valmistuksessa, mikä johtuu koskemattomien pintojen tarpeesta elektronisessa laitteen tuotannossa.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?si =
Kuinka se toimii:
Laserpuhdistuksessa käytetään korkeaa - intensiteetin laserpulsseja epäpuhtauksien, kuten pölyn, jäännösten tai hiukkasten poistamiseksi laser -ablaation kautta. Laserenergia absorboi epäpuhtaus, aiheuttaen sen haihtumisen, sublimoivan tai poistumisen pinnalta, kun taas taustalla oleva kiekkojen materiaali pysyy suurelta osin muuttumattomina.
Puolijohteiden kiekkojen laserpuhdistuksen edut:
Tarkkuus:
Laserit voivat kohdistaa epäpuhtauksien, joilla on korkea tarkkuus, minimoimalla kiekon herkän rakenteen vaurioiden riski.
Ei - Yhteystiedot:
Toisin kuin perinteiset puhdistusmenetelmät, laserit eivät fyysisesti kosketa kiekoa, vähentäen naarmujen tai rikkoutumisen riskiä.
Ympäristöystävällinen:
Laserpuhdistus vähentää usein tai eliminoi perinteisissä puhdistusprosesseissa käytettyjen ankarien kemikaalien tarpeen.
Monipuolisuus:
Eri laserasetuksia voidaan säätää erilaisille materiaaleille ja saastumistyypeille.
Erityiset sovellukset:
Hiukkasten, metallisten ionien ja piin kiekkojen kemiallisten epäpuhtauksien poistaminen.
Kiekkojen pintojen ja litografian naamioiden puhdistaminen.
Lasertunnistusmerkinnän aikana käyttöön otettujen epäpuhtauksien poistaminen.
Esimerkki: Tutkimus osoitti, että laserpuhdistus voisi poistaa erikokoisia hiukkasia (mukaan lukien 1 μm: n volframihiukkaset) pii -kiekkoista, joilla on korkea hyötysuhde. Toinen tutkimus osoitti pienten alumiinioksidihiukkasten poistamisen laseriskinpuhdistuksen avulla.
